在研究室内,李察把单晶硅晶棒放上加工台,保持竖直状态,调整机械臂下移,开始进行精准的切割。
“刷!”
机械臂挥过,就看到单晶硅晶棒立刻被削去一层,削去的部分正好是一个薄薄的圆片,直径十多厘米。
把圆片细细打磨、抛光,就看到圆片的表面光亮无比,宛如镜子,成为了一个合格的圆晶——硅晶圆片,这算是集成电路工业中,最基本的原料。
把圆晶按照一定规格切割后,便是芯片最原始的状态,也就是所谓的底片。
至此,底片制作完成。
……
底片制作完成后,需要解决的便是光刻胶和显影液。
光刻胶是涂抹在底片上的液体,在被特殊的光线照射后,会产生特殊的变化,然后浸入显影液中,进行特殊的反应,便能得到蒙板上的图案。
一般来说,光刻胶有两大类——正性光刻胶,和负性光刻胶。
正性光刻胶,是曝光部分发生光化学反应溶于显影液,未曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。
负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影液,最终在衬底形成的图案和蒙板上的正好相反。
李察经过一番考虑后,决定用正性光刻胶,这样后面制作蒙板的话,也比较容易。
就这样,李察开始了化学试剂的配置工作。
之后,数天时间都是忙碌的,不断出入三层木楼,监视的马斯则不断把观察到的情况汇报给巫师万安。
……
数天